ZnS İnce Filmlerinin Termiyonik Vakum Ark (TVA) Tekniği İle Elde Edilmesi ve Optik ve Yüzey Özelliklerinin İncelenmesi

Abstract

Çinko sülfür (ZnS) yarı iletken ince filmleri, mikroskop camı ve polietilen taraftalat (PET) alttaşlar üzerine eş zamanlı olarak Termiyonik Vakum Ark (TVA) tekniği ile depolanmıştır. Depolanan ZnS ince filmlerin optik ve yüzey özellikleri incelenmiştir. ZnS ince filmlerin kalınlıkları cam ve PET alttaşlar için sırası ile yaklaşık 510 ve 155 nm olarak ölçülmüştür. İki farklı alttaş üzerinde depolanan ZnS ince filmlerin kırılma indisi (n) ve yansıma (R) değerleri dalgaboyunun bir fonksiyonu olarak spektroskopik yöntemler ile belirlenmiştir. Cam ve PET alttaşlar üzerine depolanan ZnS ince filmlerinin direk bant geçişine sahip yasak enerji aralığı değerlerinin ise sırasıyla 3,44 ve 3.32 eV olarak hesaplanmıştır. ZnS ince filmlerinin yüzey özellikleri incelendiğinde ise filmlerin yüzeylerinde boşluk ve çatlakların olmadığı, pürüzsüz ve homojen bir yapıya sahip olduğu görülmüştür.