Schottky eklem yapılarda kapasitans eğrileri üzerinde artık kapasitansın etkisi
Abstract views: 17 / PDF downloads: 27
Keywords:
Schottky yapılar, Kapasitans-gerilim (C-V) eğrileri, Artık kapasitans, Schottky eklem anormallikleri, SiAbstract
Bu çalışmada, metal-yarıiletken kontak yapıların kapasitans-gerilim (C-V) ölçümlerinde artık kapasitansın etkisi üzerine matematiksel olarak yeni bir model önerildi ve bu model bir Al/p-Si numunenin 300 K’deki C-V ölçümü üzerinde uygulandı. Modifiye edilen yeni modele göre C0 artık kapasitans değeri C0:0.562 pF olarak hesaplandı. Vd difüzyon potansiyeli ve Na taşıyıcı konsantrasyon değerlerinin önceki modele göre ve bu çalışmada önerilen modele göre hesaplanan değerlerinin karşılaştırılmaları yapılarak modifiye edilen yeni modele göre elde edilen değerlerin daha güvenilir olduğu rapor edildi. Sonuç olarak yeni modelin Schottky eklemlerin kapasitans eğrileri üzerinde artık kapasitans değerini daha güvenilir olarak hesaplayıp eklem parametrelerini yorumlayabildiği görüldü.