Termiyonik Vakum Ark Tekniği ile Üretilen Titanyum İnce Filmlerinin Optik ve Yüzey Özelliklerinin İncelenmesi
Abstract views: 26
/ 
PDF downloads: 19
Keywords:
Ti İnce Film, TVA, Optik Özellikler, Yüzey ÖzelliklerAbstract
Son yıllarda, birçok uygulama ve endüstride yaygın kullanıma yol açan Titanyum ve Titanyum bazlı malzeme sınıfı geliştirilmiştir. Titanyum ince filmler, kaplama malzemeleri arasında, önemli bir kullanım alanına sahiptirler. Bu çalışmada, Termiyonik Vakum Ark tekniği ile cam alttaşlar üzerine üretilen Titanyum ince filmin optik ve yüzey özelliklerinin incelenmesi esas alınmıştır. Üretilen Titanyum ince filminin üç-boyutlu yüzey görüntüleri ve pürüzlülük değerleri atomik kuvvet mikroskobu sayesinde belirlenmiştir. Aynı şekilde, UV-VIS spektrofotometresi ile geçirgenlik spektrumu belirlenmiştir. İnterferometre ölçüm cihazı, üretilen Titanyum ince filminin kalınlığını, kırılma indisini ve yansıma değerlerini belirlemek için kullanılmıştır. Yaygın olarak kullanılan bir metal olan Titanyum ince filmlerin çeşitli teknolojik alanlarda uygulanabilirliğine yönelik araştırma çalışması yapılmıştır.
References
Donachie M.J., Titanium: A Technical Guide, 2nd ed., ASM International, Ohio, 2000.
Davim, J. P. Biomaterials and medical tribology: research and development, Elsevier 2013.
Oosthuizen S., Titanium: The Innovators Metal-Historical Case Studies Tracing Titanium Process and Product Innovation, The Journal of The Southern African Institute of Mining and Metallurgy, 111(11), 781-786 2011.
Uzun İ.H., Bayındır F., Dental Uygulamalarda Titanyum ve Özellikleri, Atatürk Üniversitesi Diş Hekimliği Fakülsesi Dergisi, 20(2), 213-220, 2010.
Çavuşoğlu Osman, Ti6Al4V Alaşımının sert nikel alaşım tozlari ile kaplanmasi ve aşınma özelliklerinin geliştirilmesi, Kocaeli Üniversitesi, Fen Bilimleri Enstitüsü, Yüksek Lisans Tezi, 2020.
Ümüt Kaplan, DC Magnetron Sıçratma Tekniği İle Büyütülen Titanyum İnce Filmlerinin Fiziksel Özelliklerinin İncelenmesi, Firat Üniversitesi, Fen Bilimleri Enstitüsü, Yüksek Lisans Tezi, 2019.
S. Elmas, S. Korkmaz, S. Pat, Optical characterization of deposited ITO thin films on glass and PET substrates, App. Surf. Sci. 276, 641– 645, 2013.
S. Elmas, Ş. Korkmaz, S. Pat, Investigation of physical properties and surface free energy of produced ITO thin films by TVA technique, J. Mater. Science: Materials in Elect., 30, 8876-8882, 2019.
S. Elmas, S. Pat, R. Mohammadigharehbagh, C. Musaoğlu, M. Özgür, U. Demirkol, S. Özen, Ş. Korkmaz, Determination of physical properties of graphene doped ZnO (ZnO: Gr) nanocomposite thin films deposited by a thermionic vacuum arc technique, Physica B: Condensed Matter, 557, 27-33, 2019.
N. Akkurt, S. Pat, S.Elmas, Ş. Korkmaz, Electrochromic properties of UV-colored WO3 thin film deposited by thermionic vacuum arc, J. Mater. Science: Mater. in Electronics 31, 1293-1301, 2020.
